深圳真空电镀设备目视监控、定值监控、极值监控和水晶振荡监控这四种真空电镀设备监控方法。

真空电镀目视监控：真空电镀目视监控使用眼睛监控，因为薄膜在生长的过程中，由于干涉现象会有颜色变化，我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的，真空电镀目视监控方式有一定的误差，所以不是很准确，需要依靠经验。

深圳真空电镀极值监控法：真空电镀极值监控法当膜厚度增加的时候其反射率和穿透率会跟着起变化，深圳真空电镀极值监控法当反射率或穿透率走到极值点的时候，就可以知道镀膜之光学厚度ND是监控波长的四分之一的整倍数。

真空电镀定值监控法：真空电镀定值监控法方法利用停镀点不在监控波长四分之一波位，真空电镀定值监控法然后由计算机计算在波长一时总膜厚之反射率（或者穿透率）是多少，此即为停止镀膜点。

深圳真空电镀水晶振荡监控：真空电镀水晶振荡监控利用石英晶体振动频率与其质量成反比的原理工作的。但是真空电镀水晶振荡监控有一个不好之处就是当膜厚增加到一定厚度后，深圳真空电镀水晶振荡监控振动频率不全然由于石英本身的特性使厚度与频率之间有线性关系，此时必须使用新的石英振荡片。