一、真空主体—真空腔

根据塑胶真空电镀的加工产品要求的不同，真空腔大小不同，现在应用最多是直径为1.3M、1.5M、1.8M等，真空电镀的腔体由不锈钢材料制作，它要求不生锈、坚实等，真空电镀的真空腔各部分有连接阀，用来连接各种抽气泵浦的。

二、辅助抽气系统

塑胶真空电镀的排气系统采用的是由扩散泵、机械泵、罗茨泵、低温冷阱、polycold等部分组成的。

三、蒸发系统

真空电镀蒸发系统主要是指成膜的装置部分，真空电镀机器的成膜装置很多，有电阻加热镀膜、磁控溅射镀膜、射频溅射镀膜、离子镀膜等多种方式。

四、成膜控制系统

塑胶真空电镀的薄膜监控现在应用方式比较多，主要包括：目视监控法，定值监控法、水晶振荡监控法、时间监控法等等。