一、准备作业:
1. 坚持真空室内清洁,枯燥,必要时应作清洁处理.
2. 确认抽气体系,机组转向,清洁,油量契合说明书规则﹒
3. 接通悉数冷却水.
4. 关闭悉数阀门(如预热分散泵,则前级阀不关闭).
5. 接通气源.
二、蒸镀作业准备:
1. 在龙架上装好蒸腾塑料件.
2. 将龙架由小车推入真空室,使电极紧密吻合,嵌入离合器定位牢固应能旋.
3. 关紧大门及放气阀.
三、抽气-抽气体系机组的作业:
1. 提早1小时将分散泵加热,此刻用机械泵作业,下级阀翻开.
2. 机械泵抽气:抵达加热温度,先关下闭阀门(加热不停止)翻开上阀,对真空容器粗抽.
3. 罗茨泵抽气:当真空度抵达730mmHG(即负压730mmHG)后方可发动罗茨泵,留意不得任意提早发动罗茨泵,以免过载形成损坏,罗茨泵作业后应调查热偶计真空规来了解真空度﹒
4. 分散泵抽气﹕当真空所指真空度抵达2°t时,先翻开下阀,当真空所指真空度抵达3°t时,翻开主阀关上阀,使分散泵对真空室抽气.
5. 当指针抵达7×10-2pa或以上数据可进行蒸镀作业,若继续抽气时,深圳真空电镀度将不断升高.
四、蒸镀
当真空室己抵达所需真空深圳真空电镀度后,可进行蒸镀操作.
蒸腾电流之额外大值只允许在不超越30秒的时间内使用.
五、停机
在完成本作业日结束一次蒸镀后,应按下述过程停机.
1. 关紧大门,使容器在高真空下关闭SG-3真空计.
2. 关气动高真空阀,关预抽上阀,关罗茨泵,关机散泵加热﹒
3. 在分散泵停止加热1小时后关下阀及关机械泵.
4. 关冷却水及气压.
5. 关总电源.